
2026深圳国外硅片博览会云开体育
展会时候:2026年4月9日-11日
论坛时候:2026年4月9日-11日
展会场所:深圳国外博览中心
展会范畴:50,000平素米、800家展商、90,000名专科不雅众
将在专家半导体产业中心深圳认真开幕。这场专注于硅片材料的专科嘉会,将全面展示从晶体滋长到晶圆加工的全产业链篡改恶果,为芯片制造提供更好意思满的半导体基材。
12英寸大硅片国产化取得冲突性成见。展会将初度展示450mm硅单晶的研发恶果,电阻率均匀性罢休在±2%以内。晶体滋长专区呈现袭取AI罢休系统的单晶炉,使晶格过失密度缩小50%。抛光片专区展示名义粗拙度达0.1nm的超平整硅片,答应3nm制程需求。
特质硅片材料斥地新应用。SOI专区将展示埋氧层厚度均匀性±1nm的绝缘体上硅晶圆;应变硅材料的载流子移动率普及至传统硅片的180%。图案化衬底的特征尺寸缩至15nm,为先进封装提供新选拔。量子假想用高纯硅-28晶圆的同位素纯度达99.9999%。
绿色制造工夫权贵跳跃。可捏续发展专区呈现:单晶炉热场假想使能耗缩小30%;金刚线切割工夫的硅料损耗减少至85μm。废物回收系统的硅粉回收率冲突99%,罢了全经由水资源轮回运用。光伏供电的坐褥建树使碳萍踪缩小60%。
加工建树国产化得到冲突。制造工夫展区展示:全自动抛光机的平整度罢休在0.2μm内;清洗建树的微粒去除遵守达99.99%。检测仪器罢了纳米级过失的自动分类云开体育,良率罢休普及至99.9%。某企业将首发救援12英寸硅片的智能化坐褥线,坐褥遵守普及40%。
